XYZ雙驅直線電機平臺
?XYZ雙驅直線電機平臺
1)直線電機平臺爲雙驅龍門式結構，共六軸，下軸定義爲Y1＆Y2軸，橫軸定義為Y軸，橫梁定義爲X軸，垂直軸定義爲Z軸，旋轉軸定義為U軸，ACS控制。
2)Z軸使用線性模塊，規格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光柵尺。大理石為00級
長寬高：1350*1102*153mm(標準為1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(標準為370mm)
?XYZ雙驅直線電機平臺技術參數
|
|
Y軸 | X軸 |
Z軸 |
U軸 |
| ? ? ? ? ? ? ? ? ?類型 | ? ? ??直線電機 | ? ? ?直線電機 | ? ? ? ? ? ?線性橫線 | ? ? ? DD馬達 |
|
有效行程 |
550mm |
? ? ?750mm |
200mm |
|
| ? ?最高速度 |
? ? 0.8m/s |
? ? 0.8m/s |
? ? ??0.5mm/s |
|
|
? ?最大加速度 |
? ?10m/s^2 |
??10m/s^2 |
? ?3m/s^2 |
|
|
重復定位精度 |
? ? ±0.3μm |
? ?±0.5μm
|
? ? ? ±3μm |
? ? ?0.5m/s |
|
? ?光柵尺分辨率 |
0.5μm |
? 0.5μm |
? ? ?1μm |
|
?XYZ雙驅直線電機平臺各運動部分運動靈活、平穩、可靠、無卡滯現象，無異常噪音，高速無明顯震動，低速無爬行現象
?XYZ雙驅直線電機平臺應用
激光行業：激光切割、激光雕刻、激光打標
半導體行業：晶圓檢測與探測、半導體固晶機、半導體金線焊線機、集成塊檢測與探測、高速取放與傳送設備等
尊敬的客戶，為保障您的項目成功率，以及您的利益，請盡量讓我們配合你們選型，因為您最了解您的項目要求，而我們最了解我們直線電機的性能，所以兩者結合才能確保選型無誤，您可以在線客戶聯絡我們為您選型。
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