直線電機大理石平臺
XYZ雙驅直線電機平臺
1)直線電機平臺爲雙驅龍門式結構，共六軸，下軸定義爲Y1＆Y2軸，橫軸定義為Y軸，橫梁定義爲X軸，垂直軸定義爲Z軸，旋轉軸定義為U軸，ACS控制。
2)Z軸使用線性模塊，規格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光柵尺。大理石為00級
長寬高：1350*1102*153mm(標準為1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(標準為370mm)
XYZ雙驅直線電機平臺技術參數
|
|
Y軸 | X軸 |
Z軸 |
U軸 |
| 類型 | 直線電機 | 直線電機 | 線性橫線 | DD馬達 |
|
有效行程 |
550mm |
750mm |
200mm |
|
| 最高速度 |
0.8m/s |
0.8m/s |
0.5mm/s |
|
|
最大加速度 |
10m/s^2 |
10m/s^2 |
3m/s^2 |
|
|
重復定位精度 |
±0.3μm |
±0.5μm
|
±3μm |
0.5m/s |
|
光柵尺分辨率 |
0.5μm |
0.5μm |
1μm |
|
XYZ雙驅直線電機平臺各運動部分運動靈活、平穩、可靠、無卡滯現象，無異常噪音，高速無明顯震動，低速無爬行現象
XYZ雙驅直線電機平臺應用
激光行業：激光切割、激光雕刻、激光打標
半導體行業：晶圓檢測與探測、半導體固晶機、半導體金線焊線機、集成塊檢測與探測、高速取放與傳送設備等
尊敬的客戶，為保障您的項目成功率，以及您的利益，請盡量讓我們配合你們選型，因為您最了解您的項目要求，而我們最了解我們直線電機的性能，所以兩者結合才能確保選型無誤，您可以在線客戶聯絡我們為您選型。
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